四探針電阻率測試工作原(yuan)理工作原理及組(zu)成部(bu)分

四探針測試儀的測試理論已經相當成熟(shu)，依據的(de)(de)理論是(shi)范德堡(bao)原(yuan)理，采用(yong)的(de)(de)是(shi)直流(liu)四(si)探針測(ce)試法，如圖1所示，是(shi)用(yong)針距為1mm的(de)(de)四(si)根探針同時壓在樣(yang)品的(de)(de)表(biao)面上，利用(yong)恒流(liu)源(yuan)給外面的(de)(de)1，4探針通過電(dian)流(liu)，再從(cong)2，3探針上測(ce)量出電(dian)位差，經過相關運算(suan)得到材料(liao)的(de)(de)電(dian)阻率(lv).當(dang)四(si)根探針排成(cheng)一直線(xian)時，并施加一(yi)定(ding)壓力在半導(dao)體(ti)上(shang)時，則半導(dao)體(ti)的材(cai)料電阻率：ρ=CV/I （Ω·cm）

式中C為探針修正系數，cm，當針間(jian)距確定后是一個常數，與樣品無(wu)關，V₂₃為2，3針間的電壓，V；I為通過的電流，mA.